330966918V7 科技行业 提了一个问题

光刻机技术的难点是什么?中国有没有能造光刻机的企业?

2条回答
xggp88
2020-01-20 12:32

这个问题我最有发言权吧

2015年我拿到上海微电子装备有限公司的offer,就是做光刻机,这是中国做的最好的一家,目前已经量产的有90nm的,说实话待遇不太好,不过近几年国家投了一些钱,专门用于攻克28nm光刻机的研发,搞了一些资料,虽然是别人淘汰的技术资料,但是不是那么容易吃透的,现在还有很多瓶颈待突破,离量产还很远,光刻机的技术,中国和荷兰的那家差的还非常远,希望国家再大力支持,再多拨付一些经费,提高研发人员的待遇,吸引国内外最优秀的人加入,肯定能突破28nm,然后在花5年攻克14nm,再5年攻克5nm制程

long221
2020-01-20 12:26

光刻机技术的难点是什么?中国有没有能造光刻机的企业?精密的高端光刻机是现今集成度越来越高的芯片制造所需要的,比如7nm/5nm制程的芯片。然而对于我们来说现实有些残酷,虽然我们有企业可以制造中低端的光刻机,却制造不了像ASML这样我们所需要的7nm EUV高端光刻机、连购买也成为了问题,直到现在还在和ASML交涉前两年中芯国际花费巨额资金预定的一台光刻机。

目前我国能够生产中低端的光刻机,而且在中低端市场份额占据不小,并且生产的中低端芯片份额也算不小,最突出的就是上海微电子装备(集团)股份有限公司。但是生产如手机所需7nm、5nm这样的芯片,国内光刻机的制程差距就显得较大了,国内性能领先的光刻机是上海微电子SMEE仅达到90nm。而像ASML早已经进入7nm、5nm制程的光刻机。

所以国内芯片制造企业一直在竭力想要引进高端的光刻机,但这又被ASML所垄断。中芯国际早在两年前就花费1.5亿美元向ASML预定一天7nm EUV工艺的光刻机,本来预计2019年年初交货,却因为各种各样的原因被拖到现在,依然没有交货。通过国家层面的交涉,来自ASML最新的消息是:“未来ASML将会继续和中国合作,不管有没有销售许可证,ASML都希望能够继续向中国销售供应光刻机。”。也许中芯国际的这台高端光刻机将会很快到来,并且华虹半导体也有望获得高端光刻机。

为何ASML会如此忸怩作态不愿及时交付7nm的光刻机呢?一个是源于ASML受西方针对我们泡制的《瓦森纳协定》控制,对我国实行高科技的限制性封锁。也就是说,如中国在某一领域有所进展,则相关技术解禁一层。比如我们有90nm的光刻机,ASML就只对我们开放75nm的光刻机。另一个缘于美国的打压,也就是现目前如果ASML光刻机中美国的技术占据25%,那么ASML就要受到美国的管制而不能出口。

光刻机的技术特别是其零部件技术和产品,具有相当的高难度。其组成的3万多个部件都要相当可靠才行,这其中有很多的技术难点需要解决,比如能量控制器、透光器、掩膜版、激光器等等。比如:曝光系统,需要频率稳定能量均匀的光源,但这个光源我们自己造不了但又从外部得不到,这个光源被美国的极紫外光龙头公司Cymer所掌握(后来被ASML收购);又比如为了保证光通过物镜不变形而所需的要求极高的镜头被德国蔡司所掌握;还有轴承、阀件等等,这些精密的部件都需要依靠国外进口而得来,但却被别人禁运,我们制造的部件又达不到如此精密。

所以到目前我们的光刻机还不能满足现在像7nm/5nm这样所需的高端光刻机,只有依靠向ASML采购。不过现在国家和社会越来越注意到这个问题,想比像上海微电子这样的国产光刻机公司会迎来快速发展,拥有自己的国产高端光刻机应该不是梦。

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